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利用光栅二级衍射会影响反射样品光谱反射率结果的原理，通过计算不同光谱反射率获得了光栅二级衍射效率。介绍了测量二级衍射效率的实验装置，该装置采用双光路单色仪结构，使用已知光谱辐亮度氘灯作为光源，探测器为光电倍增管，通过水杨酸钠膜将紫外光转为可见光。以波长161nm为例，测量了5块反射镜样片，计算得到光栅二级衍射效率为0．00611×（1±0．0777）。分析表明，该方法采用的测试装置简单，系统不确定度为14．08％，可以实现真空紫外波段光栅二级光谱衍射效率的连续测量。