论文部分内容阅读
真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法.目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量.但当膨胀压力低于10^-2 Pa 时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响.为了确保在膨胀前后气体量不改变,即减小在低压力下真空容器的放气对测量的影响,提出了利用非蒸散性吸气泵选择性抽气的特性,结合静态膨胀法利用惰性气体氩气（Ar）、氦气（He）来测量真空容器的容积比.