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多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。介绍了多晶硅的用途、分类,生产工艺进展,改良西门子法的工艺过程,分析了多数企业在多晶硅生产过程中废气和残液的处理过程及缺点,指出了一种废气处理的新工艺。
多晶硅生产中废气处理工艺设计
【摘 要】
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多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。介绍了多晶硅的用途、分类,生产工艺进展,改良西门子法的工艺过程,分析
【机 构】
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乌海职业技术学院
【出 处】
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轻金属
【发表日期】
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2013年04期
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