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以正硅酸乙酯和丙醇锆为原料，用溶胶凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2／ZrO2双层膜，样品1镀完SiO2后直接镀ZrO，样品2镀完SiO2经氨处理后再镀ZrO2。研究表明，φ和△两个椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合，进而发现氨处理可有效抑制SiO2／ZrO2双层膜之间的渗透，氨处理后渗透层减少近45nm。利用激光束对两种样品进行了损伤阈值的测试，用光学显微镜观察损伤形貌，结果发现两者损伤阈值分别为14．8和15．03J／cm^2，损伤形貌均为熔融型。