Up-scaled Teer-UDP850／4 Unbalanced Magnetron Deposition System Used for Mass-Production of CrTiAlN H

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：loongzhou

【摘要】

：

Up-scaled deposition process of Teer-UDP850/4 has been established and used for massive production of CrTiAlN hard coatings in applications of anti-wear, cuttin

【作者】

：

ZHANGGuo-jun YANGShi-cai JIANG

【机构】

：

SchoolofMateriafsScienceandEngineering.Xi＇anUniversityofTechnology,TeerCoatingsLtd.

【出处】

：

材料热处理学报

【发表日期】

：

2004年05B期

【关键词】

：

不平衡磁控管溅射 CrTiAlN 硬质合金涂层热处理 Unbalanced Magnetron Deposition CrTiAIN Hard Coati

【基金项目】

：

International Cooperation Key Project between China and UK，Teer Coatings Ltd. of UK and the Art-Teer Coatings Ltd. of China

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Up-scaled deposition process of Teer-UDP850/4 has been established and used for massive production of CrTiAlN hard coatings in applications of anti-wear, cutting and forming tools. This deposition system uses four magnetrons that are arranged by unbalance

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