层叠结构的Si0.65Ge0.35／Si红外探测器的微结构研究

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：abc123student

【摘要】

：

采用定位的横断面透射电子显微术观察Ｐ＾＋－Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５／ｐ－Ｓｉ异质结内光发射红外探测器的微结构。该器件光敏区由６层Ｐ＋－Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３６和５层ＵＤ－Ｓｉ层组成，每层都比较平整，各层厚度分别为６ｎｍ和３２ｎｍ，在Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５／ＵＤ－Ｓｉ界面处存在应力场，但未到晶体缺陷，非晶

【作者】

：

刘安生王瑞忠

【机构】

：

北京有色金属研究总院,清华大学微电子学研究所

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

1999年11期

【关键词】

：

红外探测器异质结半导体器件微结构 infrared detector heterojunction semiconductor device micros

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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