论文部分内容阅读
详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.
叉指式微硅加速度计的参数化设计
【摘 要】
：
详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度
【机 构】
：
国防科技大学微机电研究中心
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2003年7期
其他文献
当地时间9月26日,日产汽车表示,由于对测试标准和规则缺乏深入了解,导致其在日本制造的车型尾气排放和燃油经济性测量数据违规.7月,日产汽车承认,其日本工厂大约1205辆样品车
于1988年成立，以简单的家庭手工作坊起家的湖南永旺食品有限公司从重重包围中“杀出一条血路”，成为湖南食品行业中冉冉升起的明星。1988年以来，“永旺”先后被评为“中国名优产