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本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系.文章对这些关系的机理做了探讨和分析.
制备工艺对P型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响
【摘 要】
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本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均
【机 构】
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五邑大学薄膜与纳米材料研究所,五邑大学数理系,五邑大学信息学院,五邑大学机电系
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2004年期
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