【摘 要】
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目的研究不同种类的抛光垫对硬质合金刀片表面化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing/Planarization,CMP）加工过程的影响,为实现硬质合金刀片高效精密CMP加工提供有效参
【基金项目】
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湖南省自然科学基金项目(2017JJ4055);湖南省科技厅科技计划重点研发项目(2016GK2014)~~
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目的研究不同种类的抛光垫对硬质合金刀片表面化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing/Planarization,CMP）加工过程的影响,为实现硬质合金刀片高效精密CMP加工提供有效参考。方法利用Nanopoli-100智能抛光机,通过自制的Al2O3抛光液,分别采用9种不同种类的抛光垫对牌号为YG8的硬质合金刀片进行CMP实验,将0~40、40~80、80~120 min三个加工阶段获得的材料去除率和表面粗糙度进行对比,同时观察最佳的表面形貌,分析抛光垫特性对CMP加工效果
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