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介绍了ZnO透明导电薄膜的基本特性,制备技术,其中磁控溅射技术和MOCVD技术是制备太阳能电池用ZnO透明导电薄膜的主流生长技术,论述了这两种制备技术的原理、技术特点、制备绒面ZnO薄膜的研究进展,并对ZnO透明导电薄膜的发展趋势做了展望。
太阳能电池用ZnO-TCO薄膜研究进展
【摘 要】
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介绍了ZnO透明导电薄膜的基本特性,制备技术,其中磁控溅射技术和MOCVD技术是制备太阳能电池用ZnO透明导电薄膜的主流生长技术,论述了这两种制备技术的原理、技术特点、制备绒
【机 构】
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河北工业大学信息工程学院; 河北汉盛光电科技有限公司;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年期
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