【摘 要】
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非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域，一直是人们关注的焦点之一，其核心部件是非制冷红外焦平面阵列（IRFPA：Infrared Focal Plane Array）。综述了几种具有代表性的非制
【机 构】
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中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室
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非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域，一直是人们关注的焦点之一，其核心部件是非制冷红外焦平面阵列（IRFPA：Infrared Focal Plane Array）。综述了几种具有代表性的非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是：热敏电阻型、热释电型、热电堆型、二极管型、热-电容型非制冷IRFPA和应用光力学效应的非制冷IRFPA、基于法布里-珀罗微腔阵列的非制冷IRFPA。
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