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室温下采用射频磁控溅射技术在涤纶纺粘非织造布表面沉积钴铁（CoFe）合金薄膜。通过原子力显微镜（AFM）观察了CoFe合金薄膜在无纺织布表面沉积的微观结构，并较为系统地分析了溅射时间、溅射压强及溅射功率对CoFe合金薄膜微观结构的影响。结果表明，磁控溅射的工艺参数配置对CoFe合金薄膜表面形貌的影响很大，溅射时间的长短、溅射功率的大小对成膜的均匀性有很大影响，在一定的溅射压强（0．5Pa）时合金颗粒将会因团聚而急速增大。