【摘 要】
：
难熔金属钨及钨合金由于具有高温稳定性好、电子迁移抗力高以及电子发射系数高等优点,在半导体大规模集成电路制造过程中有着广泛的应用。本文对半导体用高纯钨及钨合金靶材
【基金项目】
：
国家重点研发计划资助(2017YFB0305601)
论文部分内容阅读
难熔金属钨及钨合金由于具有高温稳定性好、电子迁移抗力高以及电子发射系数高等优点,在半导体大规模集成电路制造过程中有着广泛的应用。本文对半导体用高纯钨及钨合金靶材的应用领域、性能要求以及制备方法进行了详细的分析,并对其发展趋势进行了展望。高纯钨及钨合金靶材主要用于制造半导体集成电路的栅电极、连接布线、扩散阻挡层等,对材料的纯度、杂质元素含量、致密度、晶粒尺寸及晶粒组织均匀性等方面都有着极高的要求。高纯钨及钨合金靶材主要采用热压、热等静压等方式来制备,采用中频烧结+压力加工的方式可以制备出高纯度、高致密度的钨靶材,但晶粒尺寸及晶粒组织均匀性控制方面,与热等静压制备的钨靶仍有一定的差距。
其他文献
利用沪宁高速公路江苏段沿线建立的26套交通气象自动站2012-2013年7-8月份逐分钟气温和00cm路面温度数据资料,结合沪宁高速公路江苏段的汽车爆胎事故数据。研究表明：汽车爆胎
汽车起重机是用来对物料进行起重、运输、装卸和安装作业的机械。它可以完成靠人力无法完成的物料搬运动作,以减轻人们的体力劳动,提高生产效率。汽车起重机作业工况复杂多变
教学过程是师生互动的过程，非智力因素是师生互动的动力因素，它包括动机、兴趣、情感、意志、性格、习惯等。在思想政治课教学中，重视学生非智力因素的开发，对提升政治教学实效具有十分重要的意义。下面略谈几点我对巧用非智力因素，提升政治教学实效的几点看法。 教学过程是师生互动的过程，非智力因素是师生互动的动力因素，它包括动机、兴趣、情感、意志、性格、习惯等。在思想政治课教学中，重视学生非智力因素的开发，对
危化品运输企业安全问题意义重大。文章通过人防、物防、技防“三位一体”的视角为切入点,提出危化品运输企业安全保障的思考和建议,希望能够为危化品运输企业的安全生产起到
目的:面部皮肤不增加额外瘢痕的情况下植骨矫正外伤性眼球凹陷。方法:采取眼球内侧结膜入路,眼球外侧结膜入路及下结膜等入路矫正眼球凹陷畸形。6例。结果:创伤小术后恢复快,
推进供给侧改革,是当前国家改革的着力点,了解供给侧改革政策,以此指导我国儿童用药的管理,对于提高儿童用药的安全性与可及性意义重大。本文研究了我国儿童用药的现状和存在
素质教育是当今教育的重点。素质是指人或事物在某些方面的本来特点和原有基础。本文讲了素质教育的含义、素质教育与学生个体之间的关系以及素质教育的策略。以学生为主体,
目的使用人参对照提取物(Ginseng Extract Reference Substance,GS ERS)对人参样品进行定性鉴别及定量分析。方法使用薄层色谱法、硅胶高效薄层板,以氯仿-乙酸乙酯-甲醇-水(1