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在单质晶体硅中,多晶硅是其中一种重要的形态.因为其半导体性,在微电子行业和光伏行业中得到了广泛的应用,还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工艺技术有机结合生产多晶硅,对解决目前国内多晶硅所面临的生产成本高、产品质量低下等问题具有非常重要的意义.
多晶硅生产技术发展方向探讨
【摘 要】
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在单质晶体硅中,多晶硅是其中一种重要的形态.因为其半导体性,在微电子行业和光伏行业中得到了广泛的应用,还原高频电源技术、硅烷流化床法和气液沉积法,可与改良西门子法工
【机 构】
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新特能源股份有限公司
【出 处】
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环球市场
【发表日期】
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2020年8期
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