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叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法.对燃烧分解、化学中和、薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述.指出等离子体净化和脉冲电晕放电是净化有害气体的较好方法.
等离子体刻蚀过程中有害气体净化的原理和方法
【摘 要】
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叙述了等离子体刻蚀过程中产生的有害气体以及处理这些有害气体的原理和方法.对燃烧分解、化学中和、薄膜吸气、等离子体净化及脉冲电晕放电等作了简要的概述.指出等离子体净
【机 构】
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华南理工大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年5期
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