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用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌（ＺｎＯ）薄膜和掺Ａｇ、掺Ｐｔ与掺Ｐｄ的ＺｎＯ三种气敏光学薄膜。测量了这些薄膜在ＮＯｘ气体中的透射光谱，然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律，并用吸附平衡关系式解释了气敏光透射特性，最终优化得到一种对ＮＯｘ气体灵敏度高的掺Ａｇ氧化锌薄膜。
ZnO系薄膜对NOx气体的气敏光透射特性
【摘 要】
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用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌（ＺｎＯ）薄膜和掺Ａｇ、掺Ｐｔ与掺Ｐｄ的ＺｎＯ三种气敏光学薄膜。测量了这些薄膜在ＮＯｘ气体中的透射光谱，然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律，并用吸附平衡关系式解释了
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1999年2期
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