10.4~12.5 μm 单层红外增透膜的研究

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红外光学薄膜的种类不但少,而且机械强度较差,尤其在中红外波段更是如此。根据薄膜光学理论计算了ZnS/Ge/ZnS、CdTe/Ge/CdTe和ZnSe/Ge/ZnSe三种ARC组合的反射率和透射率。详细分析研究了吸收和色散对ZnS/Ge/ZnS极值透射率和反射率以及极值波长的影响。计算结果表明,ZnS/Ge/ZnS组合的光谱特性最好,吸收和色散对薄膜的光谱特性有一定影响。相对而言ZnS薄膜的机械强度较好。在理论计算的基础上,利用离子束辅助沉积方法制备ZnS薄膜,检测分析了薄膜的光谱性能,考察了薄膜的耐久性。
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