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期刊论文
表面测量的差动电容传感器研究
表面测量的差动电容传感器研究
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 10次 | 上传用户:wik2pwerq32
【摘 要】
:
根据差动电容传感器测量微位移的原理和变压器电桥所具有的其变比为实数且稳定性高、变比精度高、灵敏度高及工作频率范围比较宽的特点,本文提出将差动电容传感器与变压器电桥相结合来测量转子表面的方案并给出各参数之问的关系;分析了影响传感器测量精度的因素。
【作 者】
:
刘建锋
袁赣南
甘兴利
【机 构】
:
哈尔滨工程大学自动化学院
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2006年S2期
【关键词】
:
表面测量
差动电容式位移传感器
二维旋转台
Surface measurement Differential capacitance sensors Two-d
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根据差动电容传感器测量微位移的原理和变压器电桥所具有的其变比为实数且稳定性高、变比精度高、灵敏度高及工作频率范围比较宽的特点,本文提出将差动电容传感器与变压器电桥相结合来测量转子表面的方案并给出各参数之问的关系;分析了影响传感器测量精度的因素。
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