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简述了太阳能硅片常用的切割方法及特点，指出电火花线切割由于其适合大厚度、超薄切割等特点，将成为太阳能硅片切割的一个研究热点。但因半导体特殊的电特性，目前常规电火花线切割工艺还不能胜任太阳能硅的切割。研究了太阳能硅材料的放电加工模型，提出了电火花线切割太阳能硅片的思路和工艺方法，并采用改进的脉冲电源首次对电阻率为2．1Ω·cm的P型太阳能硅进行了切割试验，切割效率大于100mm^2／min。