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研究感应式射频等离子体技术，为提高离化率，利用流体力学的相关数值计算方法，对增强型等离子化学气象沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD）设备的布气系统进行理论分析，得到平板布气装置中压力与孔径的关系。为了实现根据PECVD设备最大面积的均匀性布气，根据PECVD设备中的压力分布，优化现有的布气装置结构参数，以实现孔径补偿气流的效果。并结合专用的CFD软件对上述不同结构中的气流进行仿真，验证所优化的布气装置的合理性。用到现有的没备当中测试，提高了装备的均