不同厚度Al滤片对17～33 nm高次谐波抑制的定量研究

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dypplay

【摘要】

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利用840 l/mm的金膜透射光栅分光和AXUVl00G光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17～33 nm波段高次谐波的抑制情

【作者】

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周洪军钟鹏飞郑津津霍同林张国斌戚泽明

【机构】

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中国科学技术大学国家同步辐射实验室

【出处】

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光学精密工程

【发表日期】

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2007年7期

【关键词】

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同步辐射高次谐波抑制 Al滤片 synchrotron radiationhigher order harmonics suppressionAl filte

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(No.10575097,No.60473133),中科院"百人计划"资助项目,国家973计划资助项目(No.2006CB303102),高校博士点基金资助项目(No.20060358050)

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利用840 l/mm的金膜透射光栅分光和AXUVl00G光电二极管(PD)探测器研究了不同厚度的Al滤片对光谱辐射标准和计量线(U27)球面光栅单色器(SGM)分支17～33 nm波段高次谐波的抑制情况.结果表明,A1滤片厚为400nm时,在17～33 nm波段有较好的抑制效果且能保证探测器的信号强度,高次谐波信号强度分量小于2%.经过探测器量子效率修正后,高次谐波分量小于0.6%,这对多层膜反射率的定标及探测器定标有着重要的意义.

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