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微机电系统（MEMS）的多物理域耦合的特性使得系统建模仿真极为困难。而利用唯象不可逆热力学的相关概念，能够将复杂的MEMS系统分解为多个子系统，并以统一的热力学共轭变量的方式描述各子系统组件模型。由广义Kirchhoffian网络理论，搭建MEMS系统级模型。基于集总参数方法的等效电路方法就是其中一种合适的组件模型表达方式。使用能量变分法建立机、电系统端口变量之间关系的基本方程，获得机械变量与电域变量的转换矩阵，从而建立等效电路模型。模型易于在电系统仿真器中使用，适合于工作平衡点处的小信号仿真。