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重点介绍了在微机械加工中碰到的带图形硅片键合工艺，测量了不同表面处理和不同退火条件下的表面能，估算了封闭腔内的剩余压力和腔体薄壁的形变。这对研制和开发新颖的微机械结构提供了一种重要的途径。
微机械加工中的图形硅片键合技术
【摘 要】
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重点介绍了在微机械加工中碰到的带图形硅片键合工艺，测量了不同表面处理和不同退火条件下的表面能，估算了封闭腔内的剩余压力和腔体薄壁的形变。这对研制和开发新颖的微机械结
【机 构】
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东南大学微电子中心,210096
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国防科工委“九五”预研项目
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