一款弹簧式导向柱塞挡块替换方案设计

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对一款晶圆治具上的配件进行分析,找出其工作特性和性能要求,通过查找原有资料和数据设计了一种的替换结构,零件外形和尺寸设计便于加工,计算并选用了替换弹簧,通过然后通过零件的加工制造和配件装配测试,满足了使用要求。
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