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微机电系统是基于纳米技术迅速发展起来的新兴技术，在航空、航天。信息、军事、环境控制、医疗、生物工程学等领域有广泛应用。它的巨大潜力将给国家带来难以估量的经济效益和社会效益。本文简要介绍微机电系统技术及相关的测试和控制问题。
微机电系统及其测量问题
【摘 要】
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微机电系统是基于纳米技术迅速发展起来的新兴技术，在航空、航天。信息、军事、环境控制、医疗、生物工程学等领域有广泛应用。它的巨大潜力将给国家带来难以估量的经济效益和社会效益。本文简要介绍微机电系统技术及相关的测试和控制问题。
【机 构】
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中国航空精密机械研究所
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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1999年01期
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