【摘 要】
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为解决表面凹坑缺陷与其他平面表面缺陷同时在线检测的问题，提出一种基于单线阵CCD系统进行表面凹坑缺陷检测的方法．根据光辐射照射模型和相机成像模型，建立了基于单线阵CCD的凹
【机 构】
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天津大学精密测试技术与仪器重点实验室,天津理工大学自动化学院
【基金项目】
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国家“十一五”科技支撑计划项目(2006BAK02B01)
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为解决表面凹坑缺陷与其他平面表面缺陷同时在线检测的问题，提出一种基于单线阵CCD系统进行表面凹坑缺陷检测的方法．根据光辐射照射模型和相机成像模型，建立了基于单线阵CCD的凹坑检测数学模型，由模型推导出图像像素灰度与凹坑深度的关系，利用特定光源和光照角度的关系，进行表面凹坑缺陷的检测．结果表明，由于凹坑边缘部位深度的渐变引起CCD输出电压信号的渐变，凹坑图像呈现边缘像素灰度渐变现象，且随光源光照角度的降低，凹坑图像特征更加突出．边缘灰度渐变的图像特征成为凹坑缺陷与其他平面缺陷相区别的重要特征，有利于凹坑缺陷
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