【摘 要】
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(一)引言 GaAs是闪锌矿结构,在[111]方向有极性,当选择适当的择优腐蚀液时,各晶面的腐蚀速度有[110]≥B[111]≥[100]>A[111]关系。A[111]面是难以被腐蚀的。因此,它对腐蚀图
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(一)引言 GaAs是闪锌矿结构,在[111]方向有极性,当选择适当的择优腐蚀液时,各晶面的腐蚀速度有[110]≥B[111]≥[100]>A[111]关系。A[111]面是难以被腐蚀的。因此,它对腐蚀图形起重要作用,利用这个特点可以设计和制造各种形状的新器件。本文介绍了
(1) Introduction GaAs is a sphalerite structure with polarity in the [111] direction. The corrosion rate of each crystal plane is [110] ≥B [111] ≥ [100]> A [111] Relationship. A [111] surface is hard to be corroded. Therefore, it plays an important role in the corrosion pattern, which makes it possible to design and manufacture new devices of various shapes. This article describes the
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