【摘 要】
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设计了一种基于SOI（Silicon-On—Insulator）单模中红外低损耗悬浮脊波导的MMI—MZI型热光调制器。对单模悬浮脊波导和基于悬浮波导的调制器的参数进行了分析，并给出了工艺实现方
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（No.61177055）和国家重大基础研究发展计划项目（No.2013CB6132105）资助.
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设计了一种基于SOI（Silicon-On—Insulator）单模中红外低损耗悬浮脊波导的MMI—MZI型热光调制器。对单模悬浮脊波导和基于悬浮波导的调制器的参数进行了分析，并给出了工艺实现方法。在波长5．4μm，采用3D—BPM（Beam Propagation Method）方法对热光调制器的模型进行了传输特性的仿真。结果表明在加热电极长度为3mm时，热光作用区通过很小的温度变化△T=5．3℃时，可以实现消光比为-40dB。该中红外器件尺寸大，设计和制作容差大．在中红外硅某光子学有着重要的应用。
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