【摘 要】
：
在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了金刚石薄膜在Si(100)面上的负偏压形核行为,结果表明,偏压大小对金刚石的形核均匀性有显著影响,而甲烷浓度主要影响形核时间,对金刚
【机 构】
：
中国科学院等离子体物理研究所,武汉化工学院微波等离子体化学与新材料重点实验室,中国科学院等离子体物理研究所
论文部分内容阅读
在微波等离子体化学气相沉积装置中,研究了金刚石薄膜在Si(100)面上的负偏压形核行为,结果表明,偏压大小对金刚石的形核均匀性有显著影响,而甲烷浓度主要影响形核时间,对金刚石的最大核密度影响不大.在硅片尺寸小于钼支撑架时,形核行为存在明显的边缘效应,即在偏压值低于-150 V时,硅片边缘金刚石核密度急剧降低,远低于硅片中央;在甲烷浓度比较低时,硅片边缘核密度要高于中间.研究表明,造成这种现象的主要原因是硅片下的钼支撑架发射电子所致,过量的原子H对金刚石的形核是不利的.
其他文献
利用路径积分蒙特卡罗方法,基于Lax的半经典理论谱,研究了在T=5 K条件下,压力对固氢掺锂体系锂原子吸收谱的影响.结果表明,随着压力的增加,锂原子吸收谱半宽逐渐增加,而吸收
第24届中国杨凌农业高新科技成果博览会（简称＂杨凌农高会＂）将于2017年11月5—9日在陕西杨凌举行。本届农高会以＂一带一路助推农业现代化＂为主题,设置10个室内外展馆（区）、36个涉农专
根据对含水钠长石玻璃的FTIR光谱研究,认为水在钠长石熔体中同时以OH-和H2O形式存在,这分别对应于FTIR光谱中的4500cm-1及5200cm-1谱峰.此外,研究表明在溶解初期水主要以OH-
针对目前许多高职院校水利类专业共同面临的“招生难、就业难”困境,本文打破传统的校企合作仅局限于认识实习、顶岗实习及就业层面的现状,对高职院校水利类专业深度融合校企
彩虹现象和圆柱折射率及直径的反演吴振森李明柱（西安电子科技大学物理系西安７１００７１）ＴｈｅＲａｉｎｂｏｗａｎｄｔｈｅＲｅｖｅｒｓａｌｏｆＣｉｒｃｕｌａｒＣｙｌｉｎｄｅｒＤｉａｍｅｔｅｒａｎｄＲｅｆｒａｃｔｉｖｅＩｎｄｅｘＷｕＺｈｅｎｓｅｎ，ＬｉＭｉ...
本文就检验仪表在特种设备检验中的作用进行分析,针对当前检验仪表在特种设备检验中存在的问题,从强化认知、完善管理制度、资料积累、人员培训教育等方面入手,探讨特种设备