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本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法．研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法。
射频磁控溅射法制备薄膜电池电极及计算机模拟研究
【摘 要】
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本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法．研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法。
【机 构】
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北京理工大学信息科学技术学院电子系微电子实验室
【出 处】
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信息技术与信息化
【发表日期】
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2006年2期
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