Si和GaAs衬底上的ZnTe、CdTe分子束外延材料的晶向倾角

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【摘要】

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本文采用X射线双晶衍射二次测量法对φ76mm Si(211)和GaAs(211)B衬底上生长的ZnTe和CdTe外延层的晶向倾角进行了测量,发现对于Si和GaAs衬底,外延层的[211]均绕外延层与衬底的

【作者】

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王元樟陈路巫艳吴俊于梅芳方维政何力

【机构】

：

中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

分子束外延晶格失配晶向倾角孪晶 MBE lattice mismatch tilted angel twin crystal

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本文采用X射线双晶衍射二次测量法对φ76mm Si(211)和GaAs(211)B衬底上生长的ZnTe和CdTe外延层的晶向倾角进行了测量,发现对于Si和GaAs衬底,外延层的[211]均绕外延层与衬底的[0-11]复合轴朝[111]倾斜,其晶向倾角与晶格失配呈线性关系;通过实际测量验证了在外延层探测到的[133]峰代表[211]关于[111]旋转180°的[255]孪晶向.

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