【摘 要】
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由于ＹＢａＣｕＯ是一种怕水、酸和乙醇等有机溶剂的材料，且通过一次光刻工艺后ＴｃＯ要下降３～４Ｋ．因此，减少光刻工艺次数就成为制备多元器件的关键。本文介绍一种适用于多元超导红外探测器的新工艺，在电
【机 构】
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昆明物理研究所，长春光学精密机械学院
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由于ＹＢａＣｕＯ是一种怕水、酸和乙醇等有机溶剂的材料，且通过一次光刻工艺后ＴｃＯ要下降３～４Ｋ．因此，减少光刻工艺次数就成为制备多元器件的关键。本文介绍一种适用于多元超导红外探测器的新工艺，在电极剥离几乎无法成功的情况下，用电极掩膜板的方法可获得性能优良的微形图样，使成品率达１００％。
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