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对冷作模具钢Cr12MoV在等离子渗氮的基础上进行250℃,450℃,520℃的S-C-N复合共渗,在获得具有良好支撑作用的高硬度表面基础上,形成一定厚度的硫化物层.用光学显微镜、扫描电子显微镜、能谱仪等方法对渗层表面组织及截面形貌进行了分析,结果表明,随着温度的升高,渗硫层变厚,硫化物颗粒变大;520℃等离子复合共渗3h可得到良好组织结构的表面处理层.