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ThermoStar是一套桌面式系统，能对多达128种不同气体进行精确的工艺分析监控，检测极限低（〈1ppm），甚至适用于冷凝气体。分析系统由加热的可调温度的进气系统、Prisma Plus质谱仪、干式隔膜真空泵和HiPace分子泵组成。其特点是采用耐高温的石英毛细管进样，可达到350℃。
气体分析系统
【摘 要】
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ThermoStar是一套桌面式系统，能对多达128种不同气体进行精确的工艺分析监控，检测极限低（〈1ppm），甚至适用于冷凝气体。分析系统由加热的可调温度的进气系统、Prisma Plus质谱仪、
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年11期
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