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硅片处理系统对系统运行的可靠性、可维护性、易操作性要求较高。本文提出了一种基于CAN总线的硅片处理系统的计算机监控系统，介绍了系统的工作原理、硬件结构和软件流程。实际应用表明，该系统能够实时监视硅片处理系统的运行状况，准确地对硅片处理系统的运行进行控制，同时能够及时发现故障、快速处理各种故障等，提高了硅片处理系统的可靠性和运行效率，具有良好的应用前景。