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衍射光学器件DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件。采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术－－激光直写技术，可以制作具有高衍射效率的DOE。激光直写系统的性能，比如光强控制、坐标定位以及自动对焦等，直接影响制成器件的衍射效率。最后对曲面衍射光学器件激光辅助制造的关键技术进行了分析。
衍射光学器件的激光辅助制造
【摘 要】
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衍射光学器件DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件。采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术－－激光直写技术，可以制作具有高衍射效率的DOE。激光直写系统的性能，比如光强
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2002年4期
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