【摘 要】
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一九八○年十一月,我所邀请了有关单位的科技人员,对新研制出的几种半导体工艺设备进行了技术鉴定,现将这些新设备简要介绍于下。红外电视显微镜红外电视显徽镜是由华中工学
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一九八○年十一月,我所邀请了有关单位的科技人员,对新研制出的几种半导体工艺设备进行了技术鉴定,现将这些新设备简要介绍于下。红外电视显微镜红外电视显徽镜是由华中工学院与我所及北京市半导体器件研究所,根据近红外光能够二,.透射半导体材料这一基本光学特性而研制出的红外显徽
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