消除激光直写系统中声光调制器迟滞现象的方法

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fonely
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
激光直写是一种适用于衍射光学器件及掩模加工的方法。利用声光调制器对曝光功率进行精确控制对所制作器件的性能是至关重要的。首先描述了声光调制器的迟滞现象及其对曝光后掩模表面图形的不良影响。基于这一分析 ,提出了一种方法来克服声光调制器迟滞现象所带来的问题。简述了此项技术的设计原理和实现。实际制作的掩模样品图案显示了所述方法的有效性 Laser direct writing is a suitable method for diffractive optics and mask processing. Precise control of exposure power using acousto-optic modulators is crucial to the performance of the device being fabricated. First, the hysteresis of an acousto-optic modulator and its adverse effect on the pattern of the exposed mask surface are described. Based on this analysis, a method is proposed to overcome the problems caused by the hysteresis of the acousto-optic modulator. The design principle and implementation of this technology are briefly described. The actually fabricated mask sample pattern shows the effectiveness of the method
其他文献
期刊
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊