硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunyiyuki

【摘要】

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制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列.在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中

【作者】

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郭志超王光灿王清理张晋

【机构】

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云南大学

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2007年5期

【关键词】

：

电子束蒸镀阳极氧化模版量子线 electron beam evaporation anode oxidation template quantum wir

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制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列.在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中.再用这种模版直流电沉积制备了Znse半导体量子线阵列.SPM表征出相当好的结果,模版孔径和量子线大小一致,且分布均匀.这种模版底层的铂膜提供了量子线的一个电极,基底硅为纳米器件集成提供了平台.

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