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卷绕式真空镀膜机的膜长计数装置干蜀毅，陈立仁，周永安，程义然，彭良清，金立山（合肥工业大学真空教研室）Ｆｉｌｍｌｅｎｇｔｈｃｏｕｎｔｉｎｇｄｅｖｉｃｅｓｏｆｃｏｉｌｅｄｖａｃｕｕｍｃｏａｔｉｎｇｍａｃｈｉｎｅ￥ＧａｎＳｈｕｙｉ；ＣｈｅｎＬｉｒｅｎ；Ｚ...
卷绕式真空镀膜机的膜长计数装置
【摘 要】
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卷绕式真空镀膜机的膜长计数装置干蜀毅，陈立仁，周永安，程义然，彭良清，金立山（合肥工业大学真空教研室）Ｆｉｌｍｌｅｎｇｔｈｃｏｕｎｔｉｎｇｄｅｖｉｃｅｓｏｆｃｏｉｌｅｄｖａｃｕｕｍｃｏａｔｉｎｇｍａｃｈｉｎｅ￥ＧａｎＳｈｕｙｉ；ＣｈｅｎＬｉｒｅｎ；Ｚ...
【机 构】
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合肥工业大学真空教研室
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1994年3期
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