【摘 要】
：
用背散射-沟道效应研究了Si中注Pb并进行红外瞬态退火的辐照损伤及杂质分布.注入能量为350KeV,剂量为1×10~(17)及5×10~(15)/cm~2.实验表明高杂质浓度区中的杂质沉淀和晶格
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所,中国科学院物理研究所
论文部分内容阅读
用背散射-沟道效应研究了Si中注Pb并进行红外瞬态退火的辐照损伤及杂质分布.注入能量为350KeV,剂量为1×10~(17)及5×10~(15)/cm~2.实验表明高杂质浓度区中的杂质沉淀和晶格应力能抑制晶体的外延生长.当外延生长停止后,表面形成多晶结构,杂质沿晶粒边界向表面扩散.
The damage and impurity distribution of Si implanted Pb and infrared transient annealing were investigated by backscattering - channeling technique. The implantation energy was 350 KeV, the dose was 1 × 10-17 and 5 × 10-15 / cm ~ 2.Experiments show that impurity deposition and lattice stress in the high impurity concentration region can inhibit the epitaxial growth of the crystal.When the epitaxial growth ceases, the polycrystalline structure is formed on the surface, and the impurities are diffused to the surface along the grain boundary.
其他文献
一、CMOS电路中的锁定现象CMOS电路是在同一硅衬底上同时具有P沟及N沟MOS管的结构,因此,其内部存在着寄生的纵向npn和横向pnp晶体管,构成pnpn寄生可控硅结构。其剖面图及等
美国CVD公司接受空军部门300,000美元的合同,用多晶硅做衬底材料生产激光系统反射镜。硅的重量轻、强度高,易于抛光成反射镜所需的极好材料,用于反射激光束。该公司采用化学
题记:穷则思变,一句很古老的经典。周易系辞下:黄帝、尧、舜氏作,通其变,使民不倦,神而化之,使民宜之。《易》穷则变,变则通,通则久。事至穷尽需与时变化,唯有变化方能开通,
高效课堂，是高效型课堂或高效性课堂的简称，顾名思义是指教育教学效率或效果能够有相当高的目标达成的课堂，具体而言是指在有效课堂的基础上、完成教学任务和达成教学目标的效率
京山县虎爪山林场去年对经济林管理体制进行大胆改革,将850亩板栗基地一次性拍卖,达到了活场富民的目的。
Last year, Jingshan County Tiger Claw Hill Forest Farm boldl
准分子激光原位角膜磨镶术(laser in situ keratomileusis,LASIK)是近年来矫正近视较为理想的一种手术[1].随着LASIK手术的普及,一些角膜相关的并发症逐渐引起重视.Lin等[2]对529例行LASIK手术眼进行回顾性调查发现,8.6%有角膜并发症,其中,术中并发症占2.2%,包括不全瓣0.3%,不规则瓣0.9%,自由瓣1%;术后角膜并发症占7.29%,其中,角膜瓣
最近,国家林业局、计委、财政部联合发出通知,对于2000年长江上游、黄河上中游地区退耕还林(草)试点示范工作作出了明确要求,并公布了具体操作办法。(一)粮食补助标准。根据
今年1月底山西大同市公安局政治部主任李慧敏一家深夜遭遇歹徒袭击,李慧敏死亡,另有3人受伤。此案当时影响非常大,引起不少领导的关注。但案子破获并没费多少周折,犯罪嫌疑人
龙行千年凌空舞,回望京九卧河山——公元1996年阳春三月,一道强劲的电波从祖国的心脏——首都北京发出,飞越黄河,穿过长江,传遍神州大地,震动关内海外:京九铁路全线竣工,正
美荷速生杨是国家林科院林业研究所“纸浆材新品种选育”课题组杂交育出的新品种,已通过国家鉴定并获国家林业总局科技进步一等奖。该品种将被用于我国杨树更新换代,是西部