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利用游离磨粒进行超精密加工，可获得高的表面质量和小的加工损伤层，因此被广泛应用，且衍生出较多的加工方法。从去除材料的机理角度，将游离磨粒超精加工分为：通过被加工材料的变形去除材料；通过磨粒与被加工材料的化学反应去除材料；通过加工液与被加工材料的化学反应去除材料。并对各种材料去除机理相对应的典型加工方法进行了综述。