【摘 要】
：
采用湿法腐蚀工艺,对PVT法生长的碳化硅单晶缺陷进行了研究。利用熔融态KOH和K2CO3作为腐蚀剂,通过分别改变腐蚀剂配比、腐蚀时间、腐蚀温度的方法,获得了良好的湿法腐蚀工艺
论文部分内容阅读
采用湿法腐蚀工艺,对PVT法生长的碳化硅单晶缺陷进行了研究。利用熔融态KOH和K2CO3作为腐蚀剂,通过分别改变腐蚀剂配比、腐蚀时间、腐蚀温度的方法,获得了良好的湿法腐蚀工艺参数。用CCD光学显微镜和SEM观察腐蚀以后的晶体表面形貌。结果表明,最佳腐蚀工艺参数为K2CO3∶KOH=5g∶200g,440℃/30min。腐蚀以后（0001）Si表面可以清晰地观察到微管、基面位错、螺位错和刃位错。实验还发现晶片表面抛光质量会影响腐蚀后SiC表面的形貌。
其他文献
培养艺术设计专业创新型人才,是高校艺术设计类专业的教学目标。教师应不断探索提高艺术设计专业教学质量的策略:对教学相关要素进行改革,注重培养学生的创意和创新能力,注重
目的：探讨不同钙磷比例的补饲日粮对放牧巴音布鲁克哺乳母羊泌乳量、乳样成分及羔羊的增重影响,牧区冬春枯草期放牧绵羊的饲养管理提供参考依据。方法：选择40只哺乳母羊作为研
面对"广泛开展全民健身活动,加快推进体育强国建设"的体育新时代重要使命,学校体育还存在许多问题,体育教师队伍建设尚未能完全适应,师德失范尤为突出。用文献法分析体育教师
<正> 研制了一种测试全天深部体温变化的轻便体温计。其探头轻、薄且具有可塑性,它包括了一个热敏电阻、一个热流传感器和一个加热器。探头探测从皮肤上散发的热流,然后用加
目的回顾性分析北京协和医院71例活动期感染性心内膜炎(active infective endocarditis,AIE)患者手术治疗的近远期疗效。方法 2001年1月至2010年7月,根据杜克诊断标准(Duke c
阐述了金属基镶嵌型固体自润滑轴承的特点、性能，所用材料的类型、选择及配匹以及该种轴承的设计。
The characteristics, properties, types of materials used, selection
有位新加坡人总结了苹果的食用经验：肥胖者吃甜苹果，糖尿病吃酸苹果，解便秘吃熟苹果，治腹泻吃生苹果。苹果营养丰富，能健身、防病、疗疾。实验证明：糖尿病患者宜吃酸苹果；防治心血管
综述了改善苯乙烯-丙烯腈共聚物（SAN）共混体系相容性的3种主要方法；添加第三种犬分手组分、官能化聚合物、低分子组分。经过共混改性后的SAN共混材料在某些性能上得到提高，为新材
北江和西江一级阶地的组成物质以上更新统为主.按地貌与沉积物的相关关系,本文对沿江第四系分层提出了若干见解.一级阶地的沿程变形,北江可分为超河漫滩阶地、半埋藏阶地和埋
为求解多目标混合流水车间调度问题,以最小化最大完工时间、提前惩罚量和滞后惩罚量为目标,提出一种改进的MOEA/D算法。采用基于排列的编码策略,设计两种局部搜索策略,提高算