【摘 要】
：
为探究脉冲频率对通过高功率脉冲磁控溅射制备TiN薄膜组织力学性能的影响，选用Ti靶和N2气体，采用反应磁控溅射技术通过改变HiPIMS电源脉冲频率在Si（100）晶片上制备了不同种TiN薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子能谱仪和扫描电子显微镜（SEM）对所制薄膜晶体结构和成分、表面和断面形貌进行分析，利用纳米压痕仪对薄膜的硬度和弹性模量进行表征，并计算H/E和H3/E2。结果表明：高离
【机 构】
：
中国科学院兰州化学物理研究所材料磨损与防护重点实验室
【基金项目】
：
甘肃省科技支撑（20YF8WA006）； 中国科学院青年创新促进会（2017489）资助项目；
论文部分内容阅读
为探究脉冲频率对通过高功率脉冲磁控溅射制备TiN薄膜组织力学性能的影响，选用Ti靶和N2气体，采用反应磁控溅射技术通过改变HiPIMS电源脉冲频率在Si（100）晶片上制备了不同种TiN薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子能谱仪和扫描电子显微镜（SEM）对所制薄膜晶体结构和成分、表面和断面形貌进行分析，利用纳米压痕仪对薄膜的硬度和弹性模量进行表征，并计算H/E和H3/E2。结果表明：高离化率Ti离子轰击促使薄膜以低应变能的晶面优先生长，所制TiN薄膜具有（111）晶面择优取向。薄膜平均晶粒尺寸均在10.3 nm以下，随着脉冲频率增大晶粒尺寸增大，结晶度和沉积速率降低，柱状生长明显，致密度下降，影响薄膜力学性能。在4500 Hz时，TiN薄膜的晶粒尺寸可达8.9 nm，薄膜组织致密具有最高硬度为30 GPa，弹性模量374 GPa，弹性恢复为62.9%，具有最优的力学性能。
其他文献
生物学科是高中教育中很重要的课程，很多学生在学习过程中会感到生物知识点分布比较零散，学习难度大，学习效果不佳。为此，高中生物教师在给学生传授知识点时可采用思维导图的方法，这样不仅能在一定程度上帮助学生对知识点进行罗列，还能加强学生对知识点的理解，以达到提高生物教学质量的目的。
基于集体建设用地建设租赁住房试点政策选择的两批试点城市，在验证平行趋势假设的前提下，建立适用于自然实验的双向固定效应多期DID模型，对试点政策在住房租赁市场规模上所产生的政策效应进行评估。基准回归结果显示，相较于未试点城市，试点城市的住房租赁市场规模并未出现显著扩大的现象，且经过多方面稳健性检验后结果依然成立。在此基础上，为促进我国住房租赁市场的发展，借鉴国外住房租赁市场建设的先进经验，提出针对性
随着新课改的不断推进，学生的综合素质越来越受重视，跟以往只依靠成绩衡量学生水平不同，新课标更注重学生思维与能力的培养。在这一背景下，教师的教学思维要有所改变，可从教学方法、教学内容上进行调整。在高中生物课程教学中引入思维导图是一种新颖的教学模式，其有两个作用：一是可以提升学生的积极性，二是能让学生更清晰、更直观地学习生物知识。文章深入阐述了高中生物教学中思维导图的构建与应用。
智慧药学是“互联网+”医院建设的重要内容，在智能化水平较高的医疗机构，智慧药学技术已应用于药品采购、储存、调剂、输液配制、分包和运输、处方审核、药物警戒和药学服务等医院药学工作中。信息技术和自动化设备结合，可提高医院药学工作效率，提升临床合理用药水平，改善药学服务质量和就医体验感，保障患者用药安全性和有效性。
＜正＞ 家畜饲养标准化是提高畜牧生产水平的重要因素之一。为进一步合理利用饲料,提高饲料利用率,近几年来,我省各地普遍开展了验证猪的饲养标准的试验,积累了大量的数据,为科学养猪提供了可靠的依据。混合饲料的营养价值主要取决于每公斤饲料中消化能、可消化蛋白质、粗纤维的水平。为了进一步分析混合饲料中每公斤饲料消化能、可消化蛋白质、粗纤维的含量对饲料报酬的回归关系,寻求自变量与因变量的“最优”回归方程。现综
随着时代的发展,我国经济水平飞速发展,人们的生活质量全面提升,对生态环境要求也越来越高,对园林绿化建设也更加关注。为了提高园林绿化建设水平,还应采取行之有效的实施策略,确保园林绿化质量,为我国园林事业的发展添砖加瓦。鉴于此,文章将对园林工程中绿化种植施工技术展开分析研究。
超高分子量聚乙烯（Ultra-high Molecular Weight Polyethylene,UHMWPE）胫骨部件的磨损是限制膝关节假体远期失效的根本原因,为了满足年轻化、运动量大患者的需求,必须进一步提高膝关节假体的耐磨性、延长假体的使用寿命。人工膝关节假体的磨损和假体的几何结构参数、轴承材料以及相对运动方式三种因素相关,虽然高交联技术在一定程度上可提高UHMWPE材料的耐磨性,但为了进
本文系统梳理了黄石市矿产资源开发利用过程中产生的地质环境问题并提出了防治对策建议。黄石市矿山地质环境问题包括崩塌、滑坡、泥石流、地面塌陷与地表变形(沉降)、土地资源占用与破坏、地下水资源衰减、地下水水位下降、地表水地下水污染、土壤污染、水土流失与土地砂化等，主要可归纳为四大类：一是矿山次生地质灾害，二是矿区含水层破坏，三是矿区地形地貌景观破坏，四是矿区水土环境污染。其防治措施有地质灾害防治措施、矿
当代中国的边民政策是在国家发展中逐渐形成的。在这一过程中，根据周边情势和国家发展的现实条件及实际需要，针对边民问题的突出形式和凸显程度，国家先后推出了阶段性特点鲜明的边民政策，其专项性内涵也经历了由潜在到显在、凸显到深化的发展演变过程。但由于已有边民政策并不是从国家边境治理的宏观设计来构建的，通常是以具体问题为指向，并分解到不同政策领域的形式来展开的，由此造成其在政策目标、政策内容、政策对象、政策