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通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向,包括:无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术,为进一步开展这方面的工作提供参考.
集成电路失效分析新技术
【摘 要】
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通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向,包括:无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术,为进一步开展这方面
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2005年4期
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