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阐述了高精度光学元件———五折镜组件在加工制作过程中的难点以及解决的方法。五折镜是由五个平面反射镜按一定角度胶合而成的集成化小型光学组件。入射光线经五折镜组件反射后出射的角度误差为± 10″。这对光学加工和胶合技术提出了严峻的挑战。提出了成功解决这一制造难题的技术途径。
高精度光学五折镜组件加工工艺技术
【摘 要】
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阐述了高精度光学元件———五折镜组件在加工制作过程中的难点以及解决的方法。五折镜是由五个平面反射镜按一定角度胶合而成的集成化小型光学组件。入射光线经五折镜组件反
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所; 中国科学院光电技术研究所 四川成都610209; 四川成都610209; 四川成都610209;
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2001年06期
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