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在研制的大弧源多弧离子镀膜机内进行了沉积氮化钛工艺试验，研究了弧源施加磁控与否、氮分压、基板偏压和形成氮化钛时工件温度等工艺参数，对氮化钛涂层微观组织和性能的影响。
用多弧离子镀膜机镀氮化钛
【摘 要】
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在研制的大弧源多弧离子镀膜机内进行了沉积氮化钛工艺试验，研究了弧源施加磁控与否、氮分压、基板偏压和形成氮化钛时工件温度等工艺参数，对氮化钛涂层微观组织和性能的影响。
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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1994年05期
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