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本文用双靶相对磁控溅射法（ＦＴＭＳ）在云母单晶基板上原位生长了巨磁阻Ｃｏ／Ｃｕ超晶格薄膜，研究了放电气压及背景真空对薄膜结构和电磁性质的影响。
用FTMS方法制备Co／Cu巨磁阻超晶格多层薄膜
【摘 要】
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本文用双靶相对磁控溅射法（ＦＴＭＳ）在云母单晶基板上原位生长了巨磁阻Ｃｏ／Ｃｕ超晶格薄膜，研究了放电气压及背景真空对薄膜结构和电磁性质的影响。
【机 构】
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香港中文大学物理系
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1995年4期
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