论文部分内容阅读
采用sol—gel法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备Pb（Zr0.53Ti0.47）O3薄膜。利用x射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）对其晶格结构和微观形貌进行了表征，通过改变退火温度制得了具有单一钙钛矿结构的Pb（Zr0.53Ti0.47）O3薄膜。然后将该薄膜与环氧树脂形成复合结构材料。对其铁电性能以及复合材料的阻尼性能进行了测试，结果表明，退火温度的升高有利于改善薄膜的铁电性能，在750℃下退火的Pb（Zr0.53Ti0.47）O3薄膜，其剩余极化值2P，达到了68．6uC／cm^2