利用Sol—gel工艺在Pt／Ti／SiO2／si衬底上制备了Pb（Zr0.53Ti0.47）O3（PZT）薄膜，研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁......

采用sol—gel法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备Pb（Zr0.53Ti0.47）O3薄膜。利用x射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）对其晶格结构和微观形貌进行......